S neox共聚焦白光干涉自動化提升檢測效率
在工業量產環境或需要處理大量樣品的實驗室中，檢測效率與一致性是至關重要的考量因素。
手動操作儀器進行對焦、尋找測量位置、切換參數、保存數據等步驟，不僅耗時耗力，而且容易因人員疲勞或操作差異引入誤差。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀通過提供多層次的自
動化功能，旨在提升表面檢測的整體效率、可重復性和標準化水平，使其更適應于批量檢測和無人值守運行。
自動化始于樣品定位與加載。系統可以集成電動樣品臺，支持大行程的X、Y、Z移動，并具備高定位重復性。配合機器視覺或通過編程預設坐標，系統能夠自動將樣品移動到測量位置。對于規則排列的樣品（如晶圓上的芯片、多孔板中的樣品）或需要檢測多個特定點的部件，可以預先在軟件中設置測量點位列表（Recipe）。一旦程序啟動，系統便會按照列表順序，自動驅動樣品臺依次移動到每個點位，完成全部測量，無需人工干預每個點的定位。
在每一個測量點，系統可以執行一系列自動化的測量例程：
自動對焦：系統通過算法快速找到樣品表面的最jia 焦點位置，確保測量起始點的準確性，這對于保持不同點位或不同批次測量條件一致非常重要。
自動光強調節：根據樣品表面不同區域的反射率，系統可以自動調整光源強度，以獲得最jia 信噪比的圖像，避免過曝或信號不足。
自動模式選擇與參數優化（部分高級功能）：基于預覽圖像或預設規則，系統有時能輔助建議或自動選擇適合的測量模式（共聚焦或干涉）以及掃描范圍等參數。
自動掃描與數據采集：在設定好的參數下，系統控制Z軸精密掃描，自動采集完整的三維形貌數據。
測量完成后，數據分析與報告生成也可以自動化。用戶可以在測量程序中預定義需要計算的分析參數（如特定的粗糙度參數、臺階高度、體積等）和報告模板。系統在采集完數據后，會自動調用分析模塊處理數據，計算預設參數，并將結果（包括圖像、數據和判斷）填充到報告模板中。結合公差設置，軟件可以自動判斷每個測量項是否合格（Pass/Fail），并生成帶有顏色標識的匯總報告。
對于更高級的集成需求，S neox系統通常提供開放的通信接口（如SECS/GEM用于半導體設備）。這使得它可以被集成到整個工廠的制造執行系統（MES）或實驗室信息管理系統（LIMS）中。可以實現從上游系統接收檢測任務指令、自動下載測量程序、上傳測量結果和判斷數據，實現全流程的數字化管理與可追溯性。
這種自動化帶來的益處是多方面的：
提高吞吐量：自動化連續運行顯著減少了單件樣品的檢測時間，特別適合批量檢測，提升了設備利用率。
保證一致性：機器執行預設程序，wan 全消除了人工操作帶來的偶然誤差和主觀偏差，確保了測量結果的高度可重復和可比性。
降低對操作員的技能要求：復雜的對焦、參數設置等由系統自動完成，簡化了操作，降低了對操作人員長期培訓的依賴，也減少了人為錯誤。
實現無人化與夜班運行：全自動測量程序允許設備在非工作時間（如夜間）自動運行，進一步釋放設備產能。
標準化質量管理：自動化的數據分析與報告生成，確保了檢測標準和輸出格式的統一，有利于質量數據的標準化管理和審計。
因此，Sensofar S neox不僅是一臺高精度的測量儀器，也是一個可高度自動化的檢測工作站。通過充分利用其自動化潛力，企業可以將表面形貌檢測從一項依賴于熟練技工的“手藝活"，轉變為穩定、高效、可追溯的標準化工業流程，從而在保證質量的前提下，有效控制檢測成本，提升整體生產效能。
S neox共聚焦白光干涉自動化提升檢測效率
相關文章
上一個：
返回列表
服務熱線：
公司地址：
公司郵箱：
當前位置：首頁
產品中心
產品簡介
產品分類