S neox共聚焦白光干涉光學技術融合測量平臺
在表面計量學中，沒有一種單一的光學技術能wan 美應對所有類型的樣品和測量需求。共聚焦顯微鏡擅長解析陡峭邊緣和復雜結構，對低反射表面也較為友好；而白光干涉儀則在測量光滑、連續表面時，具有快速、高垂直分辨率的優勢。將這兩種優勢技術有機融合在一個平臺上，是提升儀器通用性和測量能力的一種有效思路。Sensofar S neox 3D光學輪廓儀正是基于此理念構建的測量平臺，旨在通過技術融合為用戶提供更全面的解決方案。
這種融合并非簡單的功能疊加，而是需要在硬件和軟件層面進行深度集成。在硬件上，S neox系統共享同一套高精度Z軸掃描系統、精密的樣品臺以及核心的光路框架。通過內置的分光與探測模塊，系統能夠根據用戶選擇的模式，在共聚焦和白光干涉光路之間進行切換或組合。高數值孔徑（NA）的物鏡是兩種模式共享的關鍵部件，其質量直接決定了系統的橫向分辨率和景深。電動多物鏡轉盤使得用戶可以根據觀測尺度需要，在軟件控制下自動更換物鏡，而無需重新校準，保證了測量的便捷性和多尺度數據的一致性。
軟件是技術融合發揮效能的“大腦"。統一的操作軟件控制著所有硬件動作，并處理來自不同模式采集的原始數據。軟件界面通常設計為引導用戶根據樣品預覽圖像或經驗選擇合適的測量模式。更重要的是，軟件可以處理來自同一區域、不同模式采集的數據。例如，對于同時包含光滑區域和陡峭結構的復雜樣品，可以先使用白光干涉模式快速獲取大面積光滑區域的數據，再針對陡峭邊緣區域切換至高分辨共聚焦模式進行補測，最后在軟件中將兩組數據無縫融合，生成一個完整且精度優化的三維形貌圖。這種“混合測量"或“數據融合"的能力，是單一技術設備難以實現的。
此外，軟件還集成了強大的數據分析工具包，適用于處理兩種技術獲得的數據。無論是計算粗糙度參數、臺階高度、體積分析，還是進行頻域濾波、形態學操作、輪廓提取，用戶都使用同一套分析流程和界面，降低了學習成本，提高了工作效率。軟件還能生成統一的、包含數據來源和測量參數的綜合性報告。
這種技術融合的平臺帶來了多方面的應用價值：
擴展應用范圍：用戶無需為不同類型的樣品購置多臺專用設備。一臺S neox可以應對從光滑光學表面到粗糙工程表面，從低反射涂層到高反射金屬的廣泛測量任務，提高了設備利用率和投資回報。
優化測量結果：對于具有挑戰性的表面，用戶可以嘗試不同模式，選擇信噪比最gao 、數據最完整的測量結果，或者通過融合技術彌補單一模式的不足，從而獲得更可靠的數據。
提升測量信心：對于關鍵測量，可以使用兩種模式分別測量同一區域，對比結果以驗證數據的可靠性和一致性，這在計量學和標準化工作中尤為重要。
簡化工作流程：在一個軟件環境中完成從模式選擇、參數設置、數據采集到分析報告的完整流程，簡化了操作，減少了在不同設備或軟件間切換的時間與潛在錯誤。
因此，Sensofar S neox作為一個融合了共聚焦與白光干涉技術的測量平臺，其價值在于提供了“一加一大于二"的解決方案。它通過硬件集成與軟件智能，賦予了用戶根據實際需求靈活選擇乃至組合zui jia 測量方法的能力，使得應對多樣化的表面表征挑戰變得更加從容和高效。這種設計理念反映了現代測量儀器向多功能、集成化、智能化發展的趨勢。
S neox共聚焦白光干涉光學技術融合測量平臺
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