共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2 基本介紹
在微觀形貌測量領(lǐng)域，三維輪廓儀是一種常見的工具。Sensofar公司推出的經(jīng)濟(jì)型三維共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2，集成了共聚焦和白光干涉兩種測量技術(shù)，旨在為工業(yè)檢測和研發(fā)分析提供一種表面測量的選擇。
該設(shè)備的核心特點(diǎn)是技術(shù)集成。它將共聚焦顯微鏡的層析能力和白光干涉儀（也稱白光垂直掃描干涉，VSI）的快速、大范圍測量能力結(jié)合在一個(gè)系統(tǒng)中。用戶可以根據(jù)樣品表面的特性，選擇更適合的測量模式。例如，對于粗糙度較高、斜率變化較大的表面，共聚焦模式可能提供較好的測量結(jié)果；而對于光滑、連續(xù)、有微小臺階的表面，白光干涉模式可能更有效率。
S lynx2的整體結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)考慮了緊湊性和功能性。設(shè)備集成了光學(xué)系統(tǒng)、電動載物臺和控制器。用戶界面設(shè)計(jì)得較為簡潔，從樣品放置到開始測量，操作流程的步驟較為清晰。軟件將光學(xué)控制、掃描設(shè)置、圖像采集、三維重建和數(shù)據(jù)分析等功能整合在一個(gè)工作環(huán)境中，便于操作。
在測量能力方面，設(shè)備能夠獲取樣品表面的三維形貌數(shù)據(jù)。通過垂直掃描樣品，它可以在非接觸的情況下，得到表面每個(gè)點(diǎn)的X、Y、Z坐標(biāo)信息。基于這些數(shù)據(jù)，不僅可以觀察表面的三維形貌圖像，還可以進(jìn)行多種幾何參數(shù)的定量分析，如高度、寬度、體積、表面積、粗糙度、臺階高度等。
對于多樣化的樣品，S lynx2提供了一定的適應(yīng)性。它可以配置不同放大倍率和數(shù)值孔徑的物鏡，以適應(yīng)從大范圍整體觀察到高倍率精細(xì)測量的需求。設(shè)備通常配備了自動物鏡轉(zhuǎn)盤，便于在不同倍率物鏡間快速切換，提高測量流程的效率。
在數(shù)據(jù)處理和報(bào)告生成方面，軟件提供了常用的分析工具包。用戶可以執(zhí)行二維和三維的幾何測量，進(jìn)行表面紋理和粗糙度分析，并按照ISO等國際標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算相關(guān)參數(shù)。測量數(shù)據(jù)和三維圖像可以保存為多種通用格式，方便后續(xù)處理或?qū)肫渌浖＼浖仓С稚山Y(jié)構(gòu)化的測量報(bào)告，以便于存檔和分享。
考慮到工業(yè)環(huán)境的應(yīng)用，設(shè)備的機(jī)械穩(wěn)定性和可重復(fù)性是一些用戶關(guān)注的方面。S lynx2在設(shè)計(jì)中注重了結(jié)構(gòu)的穩(wěn)固性，旨在減少環(huán)境振動對測量結(jié)果的潛在影響。軟件中的自動對焦、多點(diǎn)自動測量等功能，也有助于提升批量檢測時(shí)的可重復(fù)性和效率。
總而言之，共聚焦白光干涉輪廓儀S lynx2作為一款經(jīng)濟(jì)型集成化測量設(shè)備，其設(shè)計(jì)初衷是為那些需要在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)現(xiàn)場對樣品表面進(jìn)行三維形貌觀測和量化分析的用戶，提供一個(gè)具有多種測量模式選擇的工具。它適用于半導(dǎo)體、微電子、精密加工、材料科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域的表面質(zhì)量檢測與研發(fā)分析工作。
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