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當前位置:首頁產品中心三維光學輪廓儀SENSOFAR共聚焦白光干涉儀
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三維光學輪廓儀
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Sensofar三維共聚焦白光干涉顯微鏡S lynx2,是一款多功能、用途廣泛的3D光學輪廓儀,用于粗糙度、體積和臨界尺寸測量。3D白光干涉共聚焦顯微鏡是將高清晰度共聚焦顯微鏡、納米級白光干涉儀和多焦面疊加三維顯示技術融合在一臺儀器中。因此具有這三種產品的*性:即具備高橫向分辨率的共聚焦影像效果、也具備白光干涉儀的納米級的垂直分辨率、同時具備多焦面疊加高達86度的傾斜角度觀察能力。
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