ZYGO光學輪廓儀結構與參數：可靠的測量基礎

產品簡介

ZYGO光學輪廓儀結構與參數：可靠的測量基礎
光學輪廓儀依托多種成熟的光學測量技術，為不同特性樣品的檢測提供支持。

產品型號：ZYGO Nexview NX2

更新時間：2026-01-23

廠商性質：代理商

訪問量：262

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ZYGO光學輪廓儀結構與參數：可靠的測量基礎

Nexview™ NX2 光學輪廓儀采用臺式一體化結構設計，機身尺寸約 620mm×580mm×750mm，重量約 80kg，無需專用的大型安裝場地，普通實驗室操作臺即可放置，節省空間資源。機身外殼選用高強度鋁合金材料，經過陽極氧化處理，表面形成堅硬的氧化膜，具有良好的抗腐蝕、抗劃傷性能，長期使用后仍能保持外觀整潔，同時鋁合金材質的散熱性能較好，有助于設備內部元件保持穩定工作溫度。

核心光學系統密封在獨立的防塵防潮艙內，艙體采用雙層密封結構，內層為橡膠密封膠條，外層為金屬蓋板，有效防止灰塵、水汽進入光學系統內部，避免光學元件污染影響測量精度；艙體側面設有觀察窗，采用高透光率光學玻璃，方便用戶觀察測量過程中樣品的狀態。鏡頭接口采用標準化設計，兼容 10 種常用倍率的物鏡，從 2.5x 到 100x 不等，更換物鏡時只需輕輕旋轉鏡頭即可完成裝卸，軟件會自動識別物鏡型號并匹配相應的測量參數，無需手動校準，減少操作時間。

樣品臺是設備的關鍵結構，采用精密滾珠絲杠傳動，導軌表面覆蓋聚四氟乙烯耐磨涂層，減少摩擦損耗，延長使用壽命，同時保證移動的平穩性。樣品臺 X 軸與 Y 軸的移動范圍均為 120mm，Z 軸移動范圍為 60mm，搭配高精度光柵尺，移動精度可達 0.02μm，能精準定位測量區域。以下為 Nexview™ NX2 核心參數表：

參數類別	具體參數
測量技術	白光干涉、共聚焦、動態測量
橫向分辨率	0.1μm（100x 物鏡）
縱向分辨率	0.05nm（白光干涉模式）
掃描范圍	X/Y 軸：120mm×120mm，Z 軸：60mm
樣品臺承重	20kg
樣品臺移動精度	0.02μm（XYZ 軸）
傳感器幀率	150 幀 / 秒